波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU）
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產(chǎn)品名稱: 波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU）
產(chǎn)品型號(hào): B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030)
產(chǎn)品展商: Agilent
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
安捷倫*新高速 SMU 技術(shù)可使脈沖和瞬時(shí) IV 測(cè)量免受負(fù)載線影響
波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU）
的詳細(xì)介紹
主要特性與技術(shù)指標(biāo)
- 支持快速、高靈敏度的 IV（電流-電壓）測(cè)量、脈沖 IV 測(cè)量和瞬時(shí) IV 測(cè)量，適合各種應(yīng)用場(chǎng)合，比如 NBTI/PBTI 和 RTN（隨機(jī)電報(bào)信號(hào)噪聲）等
- 可以生成任意波形，編程分辨率為 10 ns（除了直流輸出以外）
- 同時(shí)執(zhí)行高速 IV 測(cè)量（高達(dá) 200 MSa/秒）
- 精度為 1 nA 的高靈敏度測(cè)量
- 利用安捷倫獨(dú)有的動(dòng)態(tài) SMU 技術(shù)，負(fù)載線不會(huì)影響脈沖 IV 測(cè)量的精度
- 10V 峰峰值輸出
- 任意波形輸出的動(dòng)態(tài)范圍調(diào)節(jié)特性可實(shí)現(xiàn)更寬泛的電流范圍
- 雙通道輸出
超快 IV、脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 測(cè)量逐漸成為進(jìn)行下一代半導(dǎo)體、器件和材料研發(fā)的一項(xiàng)常見要求。Agilent B1500A 系列中的 Agilent B1530A 波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU）是針對(duì)上述時(shí)間相關(guān)測(cè)量的*佳測(cè)量模塊。這些測(cè)量通常是由脈沖發(fā)生器和示波器共同完成，然而負(fù)載線效應(yīng)（剩余電阻導(dǎo)致的壓降誤差）會(huì)對(duì)測(cè)量精度產(chǎn)生不利影響。B1530A WGFMU 結(jié)合了任意波形生成功能，在高速 IV 測(cè)量方面有良好的應(yīng)用。安捷倫獨(dú)有的動(dòng)態(tài) SMU 技術(shù)消除了負(fù)載線效應(yīng)，與基于脈沖發(fā)生器的解決方案相比，它可使用戶執(zhí)行更**、更靈敏的測(cè)量。儀器非常適合執(zhí)行超快 IV 測(cè)量、脈沖 IV 測(cè)量和瞬時(shí) IV 測(cè)量，例如超快 NBTI 和 RTN 測(cè)量。
動(dòng)態(tài)范圍調(diào)節(jié)特性可實(shí)現(xiàn)更寬泛的電流范圍，提供**而快速的測(cè)量
另一個(gè)挑戰(zhàn)是超快 IV、脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 測(cè)量的靈敏度。脈沖底部和脈沖峰值之間的流動(dòng)電流是不同階的，部分器件顯示了所應(yīng)用的波形導(dǎo)致阻抗出現(xiàn)急劇變化。Agilent B1530A 能夠指定任意點(diǎn)上的測(cè)量范圍，任意波形輸出范圍會(huì)發(fā)生顯著變化。因此，*佳測(cè)量范圍和分辨率將會(huì)實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
即用型應(yīng)用軟件適用于先進(jìn)的器件測(cè)試，包括 RTN（隨機(jī)電報(bào)噪聲）、超快 NBTI/PBTI、脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 測(cè)量
B1530A WGFMU 擁有先進(jìn)的測(cè)量功能，能夠勝任傳統(tǒng)測(cè)量?jī)x器無法執(zhí)行的測(cè)量任務(wù)。B1530A WGFMU 支持高速、高靈敏度的測(cè)量，可在低于 µs 的范圍內(nèi)進(jìn)行器件表征。該軟件非常適合執(zhí)行超快 NBTI/PBTI 和 RTN 等測(cè)量，這些測(cè)量對(duì)于實(shí)現(xiàn)先進(jìn)半導(dǎo)體的高可靠性具有重要意義。Agilent B1500A 提供即用型應(yīng)用軟件，可快速執(zhí)行測(cè)量。
