半導體器件分析儀
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產(chǎn)品名稱: 半導體器件分析儀
產(chǎn)品型號: B1500A
產(chǎn)品展商: Agilent
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
Agilent B1500A 半導體器件分析儀（半導體參數(shù)分析儀/半導體表征系統(tǒng)）是器件表征的綜合解決方案
半導體器件分析儀
的詳細介紹
- 支持基本的電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量以及業(yè)界**的快速脈沖 IV/ 快速 IV / 瞬時 IV 測量，具備極高的測量可靠性
- 嵌入式 Windows 7 和功能強大的 EasyEXPERT 軟件借助先進的圖形用戶界面（GUI），可讓您執(zhí)行高效、深入、數(shù)據(jù)可恢復的器件表征。
- 這款*佳表征解決方案可對器件、材料、半導體、有源/無源元件以及任意電氣器件進行各種電氣表征和評測。
- 根據(jù)您的測試需求，模塊化結(jié)構(gòu)可升級至 10 插槽配置。
**的測量能力和極高的測量可靠性
Agilent B1500A 針對基礎(chǔ)和**器件表征提供以下功能。
| 測量功能 |
主要技術(shù)指標/特性 |
測量模塊 |
| 電流/電壓（IV）測量 |
- 電源和測量范圍高達 200 V/1 A
- *低測量分辨率為 0.1 fA / 0.5 µV
- 針對基礎(chǔ)和** IV 測量提供點測量、掃描測量等功能
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B1511B /B1511B /B1511B SMU（電源/測量單元） |
| 準靜態(tài) CV（QS-CV） |
- **的準靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測量，具有泄露電流補償
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| 采樣測量 |
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B1510A/B1511A/B1517A SMU（電源/測量單元） |
| 脈沖測量 |
低至 500 µs |
- 在 500 µs 脈寬、2 μs 分辨率的條件下執(zhí)行脈沖測量
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| 低至 100 ns |
- 適用于脈沖 IV 和瞬時 IV 的超快速 IV 測量功能，例如 NBTI/PBTI、RTN（隨機電報信號噪聲）等
- 脈沖測量，脈寬為 50 μs
- 電源和測量范圍高達 30 V / 1 A（0.1 A 直流）
- 支持示波器視圖
- 利用 10 ns 編程分辨率生成波形
- 同時執(zhí)行高速 IV 測量（200 MSa/s，采樣率為 5 ns）
- 10V 峰峰值輸出
- 利用動態(tài) SMU 技術(shù)，負載線不會影響脈沖 IV 測量的精度
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B1514A 50 µs 脈沖 MCSMU
（中等電流電源/測量單元）
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| 低至 10 ns |
- 適用于 高 k/SOI 脈沖 IV 的表征解決方案
- 選**沖寬度是 10 ns 至 1 µs，上升和下降時間*小值為 2 ns
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B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案
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| 脈沖生成 |
- 高壓輸出可達 ±40 V，適用于非易失存儲器測試
- 為單通道提供二電平和三電平脈沖
- 利用 10 ns 分辨率靈活地生成任意波形（任意線性波形生成功能）
- 每個模塊具有兩個通道
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B1525A HV-SPGU（高電壓半導體脈沖發(fā)生器單元） |
| 交流阻抗（CV）測量 |
- 交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t）
- 頻率范圍 1 kHz 至 5 MHz
- SMU 提供 25 V 內(nèi)置直流偏置和 100 V 直流偏置
- SCUU 能夠快捷、**地改變 IV 和 CV 自動連接
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B1520A MFCMU（多頻率電容測量單元） |
在研發(fā)的各個階段中（從探測到自動化）實現(xiàn)高效、數(shù)據(jù)可恢復的器件表征
- EasyEXPERT 軟件在嵌入式 Windows 7 中運行
- 數(shù)百種測量程序庫在需要時即可使用（應用測試）
-15 英寸觸摸屏支持您在器件表征時采取直觀的操作、分析與探測
- 自動數(shù)據(jù)記錄特性支持測試數(shù)據(jù)和測試條件的恢復，可使您輕松地進行探測
- 利用曲線追蹤（旋鈕操作）和自動記錄特性來實現(xiàn)實時交互表征
-EasyEXPERT 的曲線追蹤儀測試模式通過旋鈕來控制可變掃描，與傳統(tǒng)的曲線追蹤儀類似
-示波器視圖能夠顯示施加到器件中的電壓和電流波形，從而幫助用戶優(yōu)化測試條件、觀察器件的瞬時現(xiàn)象
- 利用便捷的在線/離線測試環(huán)境完成測試開發(fā)與分析，從而*大限度地發(fā)揮儀器效用
